高精密蚀刻质量的控制方法

　　高精密蚀刻工艺对产质量量操控的要求主要体现在操控的方法上，其操控的方法主要有可量化操控描绘和不行量化操控描绘。在规划工艺时，应该尽或许地挑选前者，由于只要量化的方法才是较为直观的方法，一起也较简单被高精密蚀刻操作者所了解，也简单被质较监督员选用丈量的东西进行量化查看。比方，深度的改动能够用卡尺或其他更精细的仪器进行丈量；粗糙度能够选用粗糙度测验仪进行丈量；关于工件外表的砂眼能够用砂眼直径、深度及单位面积的个数来操控。

　　经高精密蚀刻后的工件力学功能的改动相同也可经过仪器来丈量。对加工进程中方法的质量操控能够选用温度计、pH计、各种剖析方法等来对整个加工进程中的要害工序进行丈量，以确保其整个加工进程的各个变量都在工艺规则的规模之内。以上是一些可量化的质量操控。但是在实践生产进程中，有些工序或有些外表作用由于受条件的约束无法或没有各种东西或仪器进行丈量，这时就会呈现一些用言语来描绘高精密蚀刻的质量操控及判别方法等。

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