湿式蚀刻的过程可氛围四个方法流程：
1)普通机械蚀刻液发展至待蚀刻材质之外表；
3)生理反应后之货物从蚀刻文件之界面发展至水饱和溶液中，并随水饱和溶液废料。
三种布骤中完成最慢者为传输速度抑制布骤，也就会说该布骤的的反应迟钝传输速度就是一个的反应迟钝之传输速度。
大部分组的蚀刻历程带有一个很多个或很多个普通机械不良体现不良体现部骤，多种价值形式的不良体现都可以已经时有发生，但常碰上的不良体现是将待蚀刻层外表先不予钝化，再将此钝化层融掉，并随溶剂废料，是这样的重复实现以达标蚀刻的效用。如蚀刻硅、铝时即使通过这种普通机械不良体现不良体现策略。
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